முதலில் சிவன் கோவிலை அடைந்தவுடன் 'சிவாய நம' என கூறி ராஜகோபுரத்தை முதலில் தரிசிக்க வேண்டும். அதன்பிறகு கோவிலில் உள்ளே சென்றதும் விநாயக பெருமானை வழிபட்டு தோப்புக்கரணம் போட வேண்டும்.
அதன்பிறகு நந்திதேவரிடம் சென்று அவர் சிரசின் வழியாக சுவாமியை தரிசிக்க வேண்டும். நந்திதேவரை வழிபடும் சமயத்தில் நந்தி காயத்ரி மந்திரம் ஜெபிப்பது சிறந்தது.
அதன்பிறகு கருவறையில் இருக்கும் சிவபெருமானுக்கு அர்ச்சனை செய்து வழிபட வேண்டும். சிவனை வழிபடும் சமயத்தில் 'ஓம் நம சிவாய' என்னும் மந்திரத்தை கூறி வழிபடுவது நல்லது.
சிவபெருமான் அபிஷேகப் பிரியர் என்பதால் சிவனுக்கு ஏதேனும் அபிஷேகம் செய்வது மேலும் சிறந்தது.
சிவபெருமானை வழிபட்ட பிறகு அன்னை பரமேஸ்வரியை வழிபட வேண்டும்.
அம்பாளை வணங்கிய பின்னர் தென்முக கடவுளான தட்சிணாமூர்த்தியை வழிபட வேண்டும். அந்த சமயத்தில் தட்சிணாமூர்த்திக்குரிய மந்திரத்தை கூறுவது நல்லது.
அதன்பிறகு கோவிலை வலம் வந்து நவகிரகங்களை வழிபடலாம். பொதுவாக சிவன் கோவிலை வலம் வருகையில் மூன்று, ஐந்து, ஏழு என்ற எண்ணிக்கையில் வலம் வருவது நல்லது. வலம் வருகையில் 'ஓம் நம சிவாய' என்று மந்திரத்தை ஜெபித்தவாறே வலம் வர வேண்டும்.
