காலை வழிபாடு
1. ஸ்நானம் – அதிகாலையில் புனித ஸ்நானம் செய்து சுத்தமாக ஆடைகள் அணிய வேண்டும்.
2. விரதம் – முழு நாளும் விரதம் இருந்து (சிலர் தண்ணீர் மட்டும் பருகுவர், சிலர் பழம், பால் மட்டும் சாப்பிடுவர்).
3. கோயில் தரிசனம் – அருகிலுள்ள சிவாலயத்திற்கு சென்று சிவபெருமானுக்கு ஆராதனை செய்ய வேண்டும்.
இரவு சிறப்பு பூஜை (நான்கு காலங்கள்)
சிவராத்திரி இரவு நான்கு யாமங்கள் (காலங்கள்) ஆகப் பிரிக்கப்பட்டுள்ளது. ஒவ்வொரு யாமத்திலும் சிவலிங்கத்திற்கு அபிஷேகம், பூஜை செய்ய வேண்டும்.
முதல் யாமம் (6.00 PM – 9.00 PM)
பால், இளநீர் கொண்டு அபிஷேகம் செய்ய வேண்டும்.
"ஓம் நமசிவாய" 108 முறை ஜபிக்க வேண்டும்.
இரண்டாம் யாமம் (9.00 PM – 12.00 AM)
தயிர், சர்க்கரை நீர் கொண்டு அபிஷேகம் செய்ய வேண்டும்.
சிவசஹஸ்ரநாமம் பாராயணம் செய்யலாம்.
மூன்றாம் யாமம் (12.00 AM – 3.00 AM)
தேன், சந்தனம், பன்னீர் கொண்டு அபிஷேகம் செய்ய வேண்டும்.
ருத்ர ஜபம் (நமகம, சாமகம்) பாராயணம் செய்தால் மிகுந்த புண்ணியம்.
நான்காம் யாமம் (3.00 AM – 6.00 AM)
கங்கைத் தண்ணீர், குங்குமப்பூ தண்ணீர், வாசனைத் திரவியங்கள் கொண்டு அபிஷேகம் செய்ய வேண்டும்.
லிங்காஷ்டகம், சிவாஷ்டகம், சிவ பஞ்சாக்ஷர ஸ்தோத்திரம் பாடி சிவனை வணங்க வேண்டும்.
பூஜை அலங்காரம்
அபிஷேகத்துக்குப் பிறகு சிவலிங்கத்தை பில்வ இலை, மல்லிகை, அரளி மலர் கொண்டு அலங்கரிக்க வேண்டும்.
தீபம் ஏற்றி, தூபம் காட்டி, நைவேத்தியம் (பழம், பால், பாயசம், வெல்லம் முதலியன) சமர்ப்பிக்க வேண்டும்.
மந்திர ஜபம்
"ஓம் நமசிவாய" மந்திரத்தை ஜபிக்க வேண்டும்.
ஒவ்வொரு ஜபமும் பாவங்களை அகற்றி மன நிம்மதியை தரும்.
விடியற்கால பூஜை
அதிகாலை 4.30 – 5.30 மணிக்குள் மஹா ஆராதனை செய்து சிவபெருமானுக்கு தீபாராதனை காட்ட வேண்டும்.
பின் விரதம் முடித்து பால், பழம் போன்ற பவித்திரமான உணவை உட்கொள்ளலாம்.
சிறப்பு பலன்கள்
ஆவணி மாத சிவராத்திரியில் இப்படிப் பூஜை செய்தால்:
குடும்ப நலன், பிள்ளை பாக்கியம் கிடைக்கும்.
சனி, ராகு, கேது தோஷங்கள் நீங்கும்.
ஆன்மிக முன்னேற்றமும், பாவ நிவிர்த்தியும் ஏற்படும்.